矽翔微机电系统（上海）有限公司成都分公司

 

矽翔微机电系统有限公司(矽翔公司，Siargo Ltd. )成立于2003年，公司总部位于美国加州硅谷。矽翔公司是目前世界唯一生产具有自主知识产权、低功耗、超大量程MEMS气体流量计并使之产品化的厂商。其核心部件一MEMS流量芯片及其专利封装技术由公司自主研发，可用于各类气体及微流体的流量计量和测控，为传统的流体计量带来了根本性变革，提供了全新的拓展空间。传感器可测量低至0.01m/sec及高达65m/sec。针对不同的应用，传感器可用于测量气体的质量流量、体积流量及介质流速。专门设计的电路具有放大及微小信号处理功能以保证高精度输出。 不同于其它MEMS传感技术，矽翔微机电系统有限公司在单个传感芯片上集成多个传感器。芯片表面采用具有高导热性能的陶瓷材料钝化处理，在保证传感器的灵敏度的同时避免传感器与气体介质直接接触以提高其可靠性。当没有气体介质流过MEMS传感器芯片时，传感器周围保持稳定的温度场(温度分布)。当气体介质流过传感器芯片时，温度场因为流体介质带走热量导致局部温度重分布。这种局部温度场变化取决于流体介质的质量及流速。集成在芯片上的传感器对此温度分布进行测量，通过校准，专门设计的信号处理电路和智能控制软件可测量实际的介质质量流速。介质质量流速则可换算成体积流速及累计介质体积流量。 矽翔微机电系统有限公司的流量传感器可采用多种形式的封装，从而增加了其应用的广泛性。 矽翔公司基于MEMS 技术的流量芯片广泛应用于医疗麻醉与呼吸设备，工业制造业用气测量及过程控制，环保等多个领域；在医院中心供氧、制氧设备、分床计费系统，食品加工，科学气体分析仪器，楼宇自控，民用健身、保健设备等领域也有广泛的应用；在全新的燃料电池等科技领域亦有的应用。 目前，产品已销售到美国、日本、欧洲、南美、大洋洲、东南亚等多个国家和地区。 矽翔公司是GB/T 20727-2006《热式质量流量计》起草单位之一。